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特点：
1.行程大，测量范围更广
2.自主开发QMS3D软件，可满足客户不同测量需求
3.具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能
4.采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力
5.配置操纵手柄，亦可软件程控
6.SPC数据处理分析，大批量治具测量
7.X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高速度快，运行平稳
8.采用自主开发的嵌入式模块控制系统，将复杂的控制系统集成于仪器内部，稳定性更高
9.程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量
10.X、Y向导轨采用高精度花岗石，具有高稳定性及刚性，不易变形
11.X、Y向移动的部份采用低摩擦，高速度，高精度的气浮移动导向系统
12.采用同布带或丝杆传动，精度高，稳定性好
13.花岗石直线度和玻璃平面度好，花岗石导轨无摩擦、不磨损
14.可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷
技术规格参数:
长度单位：mm | |||
| 参数/机型 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
| 工作台 | X,Y轴行程 | 600×600 | 600×900 |
| Z轴行程 | 200调焦及辅助测量 | ||
| 玻璃台尺寸 | 640×770 | 640×1070 | |
| 工作气压 | ≥0.5MPa | ||
数字测量系统 | 光栅尺分辨力：X、Y、Z轴0.0005 | ||
0.7~4.5×变焦镜头，总视频放大倍率为20~128× | |||
X,Y轴马达运动速度 | <300mm/s | ||
Z轴马达运动速度 | <50mm/s | ||
仪器外形尺寸(L×W×H) | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
仪器重量(Kg) | 1281 | 1500 | |
