1. 激光干涉仪简介
激光干涉仪是一种以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉原理测量位移的通用长度测量仪器。以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量
仪器,在高端制造领域应用广泛。
1. 激光干涉仪简介
激光干涉仪是一种以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉原理测量位移的通用长度测量仪器。以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,在高端制造领域应用广泛。双频激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
2.激光干涉仪组成
系统组件主要包括:激光头、可调云台、三脚架、光学镜组件、环境传感器探测器外置式激光头还需:数据采集卡、光纤、光电接收器系统采用模块化结构;可根据具体测量需求而选择不同的模块组件。
二、CL50 双频激光干涉仪产品配置参数
1.系统综述
CL50 双频激光干涉仪采用自主知识产权的大频差双频激光器等光平热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术,使得激光波长非常稳定, 激光稳频精度优于±0.03ppm , 线性测长精度优于±0.4ppm、技术指标达到或优于国外产品同等水平。
CL50 双频激光干涉仪是用来测量位移距离的光学仪器,最大测量距离为40m(使用其他元件可扩展至80m),分辨率为1nm,速度为2m/s。它还可以测量由位移引申出来的几何量和运动量,如角度、直线度、平行度、
垂直度以及速度、加速度等。CL50 干涉仪采用模块化设计,主要用于机床的精度标定和误差检测以及实验研究等各种用途。由于采用模块化设计,用户可以根据不同的测量目标,选择对应的光学镜组来满足测量需求。
2.产品特点
1)双频激光干涉仪克服了单频激光干涉仪易受环境影响的弱点,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号。
2)频差高达6MHz±1MHz(典型值,可定制更高频差)可根据客户需要提供系统解决方案。
3)抗干扰性好,精度更高,性能可靠,长距离测量仍可保持稳定;
4) 自动环境补偿,保证测量高精度;电磁干扰不敏感,适合车间恶劣工业环境下的精密测量;
5)小体积便携式设计, 人性化操作结构,软件操作界面友好,方便易用;拥有自主知识产权, 核心部件自主生产, 售后保障及时、可靠,
6)双模稳频与双频干涉测量是不同技术的产品、双频干涉仪采用双频外差测量技术, 性能指标中有双频频差参数( 一般为1 - 2 0 M H z),单频干涉仪使用单频测量技术, 性能指标中没有频差参数。